Выбранная продукция
×

SMC

Артикул

×

Выход
  1. Главная
  2. Продукция
  3. Отраслевые применения
  4. Электроника
  5. Фотоэлектрическая промышленность
  6. Высокий вакуум
  7. Клапаны
  8. XL

Каталог продукции

XL

XL

Угловой клапан на высокий вакуум XL обладает прекрасной теплопроводностью всего корпуса и заметно уменьшает конденсацию газов внутри клапана. Отскутствие в клапане тяжелых металлов, таких как Ni (никель) или Cr (хром), а также низкий коэффициент распыления позволяет свести к минимуму загрязнение полупроводниковых пластин тяжелыми металлами.

Дополнительно


Категории

XLJ, Угловой клапан со встроенным клапаном сброса

XLJ, Угловой клапан со встроенным клапаном сброса

  • Одностороннего действия, с кольцевым уплотнением
  • Конструкция с электромагнитным управлением и встроенным клапаном сброса
  • Предотвращает обратный поток масляных паров из форвакуумного (роторного) насоса
  • Алюминиевый корпус
  • Минимальное газовыделение
  • Высокая коррозионная стойкость к фтористому газу
  • Минимальное загрязнение тяжелыми металлами.

XL*, Угловой клапан для высокого вакуума, с пневмоуправлением

XL*, Угловой клапан для высокого вакуума, с пневмоуправлением

  • Легкость и компактность
  • Равномерная температура
  • Высокая стойкость к соединениям фтора
  • Низкая дегезация
  • Низкое загрязнение тяжелыми металлами

XL*V, Угловой клапан для высокого вакуума, с пневмоуправлением с электромагнитым распределителем

XL*V, Угловой клапан для высокого вакуума, с пневмоуправлением с электромагнитым распределителем

  • Легкость и компактность
  • Равномерная температура
  • Высокая стойкость к соединениям фтора
  • Низкая дегезация
  • Низкое загрязнение тяжелыми металлами

XLH, Угловой клапан для высокого вакуума с ручным управлением, сильфонный тип

XLH, Угловой клапан для высокого вакуума с ручным управлением, сильфонный тип

  • Высоковакуумный угловой клапан
  • сильфонный с ручным управлением
  • Размер фланцев: 16 ~ 50
  • Тип нагревателя: H1 (80°C), H2 (100°C), H3 (120°C)
  • Без датчиков положения

XLS, Угловой клапан для высокого вакуума, электромагнитный, сильфонный тип

XLS, Угловой клапан для высокого вакуума, электромагнитный, сильфонный тип

  • Количество механических частиц уменьшается из-за отсутствия трущихся механических частей
  • Выравнивание давления обеспечивает неограниченный сброс
  • Может использоваться в портативном оборудовании, так как не требуется воздух на собственное потребление
  • Цепь управления энергопотреблением клапаном в базовом варианте

XLAQ, Алюминиевый угловой клапан для высокого вакуума с быстросменным сильфонным узлом, одностороннего действия, сильфонное уплотнение

XLAQ, Алюминиевый угловой клапан для высокого вакуума с быстросменным сильфонным узлом, одностороннего действия, сильфонное уплотнение

  • Механизм быстроразъемного соединения и разъединения для установки крышки
  • Компактность и легкость.
  • Высокая пропускная способность и малые габариты.
  • Секретка для предотвращения несанкционированной сборки (разборки).

XLDQ, Алюминиевый угловой клапан для высокого вакуума с быстросменным сильфонным узлом, одностороннего действия, сильфон/кольцевое уплотнение

XLDQ, Алюминиевый угловой клапан для высокого вакуума с быстросменным сильфонным узлом, одностороннего действия, сильфон/кольцевое уплотнение

  • Механизм быстроразъемного соединения и разъединения для установки крышки
  • Компактность и легкость.
  • Высокая пропускная способность и малые габариты.
  • Секретка для предотвращения несанкционированной сборки (разборки).

XLA-2, Алюминиевый угловой клапан для высокого вакуума, Н.З., сильфонное уплотнение

XLA-2, Алюминиевый угловой клапан для высокого вакуума, Н.З., сильфонное уплотнение

  • Алюминиевый корпус
  • Равномерное распределение температуры
  • Минимальное газовыделение
  • Высокая устойчивость к фтору
  • Легкость, компактность
  • Минимальное загрязнение тяжелыми металлами

XLC-2, Алюминиевый угловой клапан для высокого вакуума, двустороннего действия, сильфонное уплотнение

XLC-2, Алюминиевый угловой клапан для высокого вакуума, двустороннего действия, сильфонное уплотнение

  • Двустороннего действия, с сильфонным уплотнением
  • Алюминиевый корпус
  • Равномерное распределение температуры
  • Минимальное газовыделение
  • Высокая устойчивость к фтору
  • Легкий, компактный
  • Минимальное загрязнение тяжелыми металлами.

По заданному критерию поиска совпадений не найдено