В течении последних несольких лет стало понятным, что аналоговые датчики расхода проточного типа не всегда могут обеспечить необходимую точность при измерениии малых расходов. Но теперь, благодаря усилиям наших лучших в мире инженеров исследователей и разработчиков в области автоматизации имеется новая серия датчиков расхода с цифровой индикацией PFM, в которой применены MEMS технологии. Продвигаемые первоначально для детектирования вакуумного захвата миниатюрных деталей, а также засорения сопел и фильтров, теперь эти новые невероятно компактные и легкие датчики расхода сравнимы с лучшими существующими расходомерами благодаря своей микроэлектронно-механической системе (MEMS). Интегрированный в конструкцию дроссель регулирования расхода может быть отключен простым отделеним от датчика, линейность характеристики может регулироваться вручную вращением иглы. Дополнительными достоинствами PFM является двухцветный цифровой дисплей с функцией диагностики выхода за пределы измерения, а также возможность прямого или углового подключения трубопроводов при наличии простраственных ограничений. Диапазоны измерения расхода PFM:10, 25, 50 и 100 л/мин. Они пригодны для работы с воздухом, азотом, аргоном и углекислым газом.