Выбранная продукция
×

SMC

Артикул

×

Выход
  1. Главная
  2. Продукция
  3. Оборудование для термоконтроля
  4. Стабилизаторы температуры общего назначения
  5. Термочиллер без фторсодержащего газа (хладагент CO2) для полупроводниковой промышленности

Каталог продукции

Термочиллер без фторсодержащего газа (хладагент CO2) для полупроводниковой промышленности

Экологически безопасный хладагент и энергоэффективность

  • Сократите административно-хозяйственные расходы и затраты времени – в отличие от фторсодержащих газов, использование CO2 не регулируется квотами на импорт или применение
  • Упростите транспортировку – на CO2, по сравнению со многими привычными хладагентами, не распространяются ограничения на международные авиаперевозки
  • Подходит для применения в полупроводниковой промышленности – соответствует директивам SEMI S2, S8, F47
  • Сократите расходы – энергоэффективная работа благодаря частотному регулированию двигателей компрессора и насоса.

И многое другое

  • Мощность охлаждения: 10 кВт
  • Точность поддержания температуры: ±0.1 ºC
  • Диапазон настройки температуры: -20 ~ 90 ºC
  • Тип теплоносителя:
    • фторсодержащие жидкости
    • водный раствор этиленгликоля
  • Передача данных:
    • сигналы ВХ/ВЫХ
    • последовательный интерфейс RS-485
    • аналоговая передача данных
    • промышленная сеть DeviceNet.
Термочиллер без фторсодержащего газа (хладагент CO2) для полупроводниковой промышленности

Сконфигурируйте продукт
 
Мощность охлаждения
Циркулирующий теплоноситель
Аналоговая передача данных
Передача данных DeviceNet
Фитинг NPT
Блок контроля деионизации
Автоматическое поддержание объема теплоносителя в баке

Документы/файлы для эксплуатации

Каталог (pdf)

Инструкции