W odpowiedzi na potrzeby przemysłu półprzewodnikowego dotyczące zaworów o wysokim stopniu czystości mogących brać udział w mokrych procesach, inżynierowie z SMC opracowali zawory 2/2 i 3/2 serii LVA, LVC i LVD. Zaprojektowane specjalnie z myślą o przemyśle półprzewodnikowym i medycznym, te sterowane pneumatycznie zawory o wysokiej czystości są odpowiednie do stosowania ich w trudnych warunkach często spotykanych w mokrych procesach. Wykonane z różnych materiałów, w zależności od potrzeb i dostępne w wielu opcjach korpusu, zawory LVA, LVC oraz LVD są odpowiednim wyborem do pracy z kwasami, zasadami i ultra czystą wodą. Seria LVC cechuje się zintegrowanymi złączami i korpusem z PFA. Serię LVA wyróżniają przyłącza gwintowe i korpus wykonany ze stali nierdzewnej i tworzywa: PPS i PFA. Seria LVD to korpus z PFA i złącza wtykowe serii LQ1 oraz KP. W przypadku zaworów LVC dostępna jest dodatkowa funkcja - zawór zasysający, który eliminuje wycieki mogące się pojawiać przy zamykaniu się zaworu. Dzięki unikatowej konstrukcji zawory podczas pracy przy normalnym ciśnieniu mają minimalne przecieki, tak małe, że nie są one mierzalne. Wewnętrzne testy SMC wykazały także niezwykle długą żywotność zaworów.