W ciągu ostatnich kilku lat przyjęło się przekonanie, że analogowe czujniki przepływu nie zawsze dają dokładne wskazanie, w szczególności gdy pracują w aplikacjach o niskim przepływie. Dzięki pracy inżynierów R&D z SMC i ich nowemu czujnikowi przepływu PFM wykorzystującemu technologię MEMS, dokładne pomiary przy niskim przepływie nie stanowią już problemu. Zaprojektowane początkowo do wykrywania adsorpcji elementów mikrochipów w układach podciśnienia oraz wczesnego wykrywania zapychania się filtrów lub dyszy, czujniki PFM dzięki elementom MEMS są niezwykle kompaktowe i lekkie. Zawór regulacji przepływu można łatwo przyłączyć lub odłączyć. Przekręcając pokrętło można w prosty sposób regulować przepływ. 2-kolorowy wyświetlacz umożliwia łatwą kontrolę wszelkich nieprawidłowości.Czujniki PFM dostępne są w czterech opcjach maksymalnego przepływu: 10, 25, 50 i 100 ℓ/min. Są one dostosowane do pracy z powietrzem, azotem, argonem oraz dwutlenkiem węgla.
