Ventilera

Högvakuumventilerna i vinkel ur XL-serien ger utmärkt värmeledningsförmåga vilket resulterar i en enhetlig temperatur för hela ventilhuset och en tydlig minskning av gaskondensation inuti ventilen. Ventilen innehåller inte tungmetaller som Ni (nickel) eller Cr (krom) och det låga partikelsläppet bidrar också till att minimera tungmetallkontamineringen av halvledarplattor.

Serie XM (vinklad ventil för högt vakuum) och XY (rak ventil för högt vakuum) har husmaterial i SUS (rostfritt stål). Strukturen hos XM är densamma som hos XL, förutom husmaterialet i XL är aluminium. XM-serien är utbytbar med XL-serien. Tillverkningsprocessen för XY-serien är att den gjuts noggrant ett stycke vilket förhindrar brister på grund av ansamling av gas och säkerställer att huset inte har någon porositet.