V posledných rokoch sa všeobecne prijalo tvrdenie, že analógové prietokomery neposkytujú vždy presné údaje. Vďaka inžinierom spoločnosti SMC, popredných svetových odborníkov na automatizáciu, bol teraz uvedený na trh nová séria digitálnych prietokomerov PFM. Vyvinuté výlučne na detekciu mikročipov vo vákuu. V porovnaní s existujúcimi senzormi je vďaka systému MEMS neuveriteľne kompaktný a ľahký. Ďalšou funkciou je dvojfarebný displej, ktorý na prvý pohľad informuje o prípadných nezrovnalostiach vo výkone. Rôzne možnosti montáže. PFM je v súčasnosti k dispozícii v štyroch maximálnych prietokoch, a to 10, 25, 50 a 100 l/min. Je vhodný pre vzduch, dusík, argón alebo oxid uhličitý