Sterylizatory na tlenek etylenu są używane do dezynfekcji urządzeń wrażliwych na ciepło i wilgoć, które mogłyby zostać uszkodzone przez czystą parę lub płynną sterylizację chemiczną. Dotyczy to wielu produktów wykonanych z tworzyw sztucznych, gumy oraz urządzeń niewrażliwych na działanie wysokich temperatur.