Product selecteren
×

Ga naar details

SMC Nederland

Onderdeelnummer

Niet geregistreerd

Mijn account

×

Welkom bij SMC!

Afmelden
  1. Home
  2. Pneumatische en elektrische producten
  3. Hoogvacuümproducten
  4. Slit Valves

Productcatalogus

Slit Valves

Categorieën

XGTP

XGTP

  • Slit valve met parallelle dichting voor 300 mm grote wafer
  • Lange levensduur van 3 miljoen cycli
  • Deeltjesvorming met 1/5 of meer verminderd
  • Mechanisch eindvergrendelingsmechanisme
  • Balg kan gemakkelijk worden vervangen en bovenkant is toegankelijk (maatwerk)
  • Verwisselbaar met het huidige XGT-product.

XGT

XGT

Het slit valve van de XGT-serie is geschikt voor het verdeelventiel tussen de load lock chamber en de overdrachtkamer en tussen de overdrachtkamer en de proceskamer in productieapparatuur voor halfgeleiders, enz.

Geen resultaten gevonden die overeenkomen met uw zoekcriteria

Slit valves

De slit valves van SMC zijn ontworpen voor optimale prestaties in productieapparatuur voor halfgeleiders en andere toepassingen. Onze XGTP slit valve biedt een lange levensduur (3 miljoen cycli) en heeft een verminderde deeltjesvorming (met 1/5 of meer). Onze slit valves zijn dan ook een betrouwbare en gebruiksvriendelijke keuze.