De hoogvacuüm hoekzittingsventielen uit de XL-serie bieden een uitstekende thermische geleidbaarheid, waardoor de temperatuur gelijkmatig over de volledige oppervlakte van de body wordt gespreid en de gassen binnen het ventiel minder condenseren. Het ventiel bevat geen zware metalen zoals Ni (nikkel) of Cr (chroom), terwijl de lage sputter opbrengst ook helpt om de vervuiling van de halfgeleiderwafers zo laag mogelijk te houden.