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La serie di valvole ad angolo per vuoto elevato XL fornisce un'eccellente conducibilità termica e, quindi, una temperatura uniforme sull'intero corpo della valvola e una notevole riduzione dell'accumulo di gas al suo interno. La valvola non contiene metalli pesanti quali Ni (nickel) o Cr (cromo) e il basso livello di polverizzazione contribuisce a ridurre al minimo la contaminazione con metalli pesanti dei microchip.