I costruttori di semiconduttori e di LCD hanno trovato la perfetta soluzione grazie al lancio della nuova pompa a embrana PAF di SMC. Progettata proprio per soddisfare le richieste dell'industria, questa pompa in fluororesina ad alte prestazioni è stata costruita con parti del corpo non metalliche per assicurare una compatibilità perfetta quando si usano sostanze chimiche "high purity".Tutte le parti a contatto con fluidi sono state realizzate nel nuovo materiale PFA e in PTFE, le caratteristiche chimiche e di temperatura sono state potenziate grazie all'uso della doppia costruzione PFA-PPS per migliorare sia la pressione di prova che le prestazioni del ciclo di riscaldamento .Attualmente disponibile in due opzioni, il tipo ad azionamento automatico con elettrovalvola incorporata nel corpo della pompa e il tipo ad azionamento pneumatico in cui la valvola e il circuito elettrico sono separati dalla pompa. La serie PAF costituisce una soluzione leggera, compatta e a portate elevate per soddisfare le necessità più esigenti. Le caratteristiche aggiuntive comprendono l'opzione del rilevatore ottico di perdite per ottenere una rapida indicazione di un eventuale guasto della membrana e nel caso del tipo ad azionamento pneumatico, l'aggiunta dei sensori ottici corsa montati per assicurare il funzionamento stabile della pompa e il preciso monitoraggio del ciclo.