Leszellőző

Kiváló hővezető képességével az XL finomvákuumhoz való alumíniumszelep a szelep egész testének egyenletes hőmérsékletét és a szelep belsejében lévő kondenzációs gázok jelentős csökkenését eredményezi. A szelep nem tartalmaz nehézfémeket, mint például a nikkel vagy a króm, és az alacsony vákuumpárologtatásos hozam segít a félvezető lapkák nehézfémmel való szennyeződésének minimalizálásában.

Az XM (finom vákuumhoz használható szögszelep) és XY (finom vákuumhoz használható vonali szelep) háza SUS (rozsdamentes acél) anyagból készül. Az XM kivitele ugyanolyan, mint az XL struktúra, kivéve, hogy az XL házanyaga alumínium. A egyetlen munkadarabból, precíziós megmunkálással készített XY sorozatnál nincsenek deformációk a gázok feldúsulása következtében, és porozitás sincs a házon belül.