A félvezetőgyártás nagy tisztaságú szelepek iránti igényét követve az SMC mérnökei kifejlesztették a 2/3-utú, LVA, LVC és LVD sorozatú szelepeket. A szakemberek kifejezetten a félvezetőgyártás és gyógyászati alkalmazások számára terveztek, így ezek a termékek jól megbirkóznak a nehéz környezeti viszonyokkal és jól használhatók nedves közeggel dolgozó alkalmazásoknál. A teljesítménytől függően különböző anyagokból készültek, házkivitelek széles választékát kínálják. Az LVA, LVC és LVD közeggel érintkező részei műanyagok, így jól használhatók savakhoz, alkáli elemekhez vagy nagy tisztaságú vízhez. Integrált, kompressziós tömítésekkel rendelkeznek, a legmodernebb PFA anyagokból készül a házuk. Az LVA menetes csatlakozású, ház anyaga SUS316, PPS és PFA kombinációja. Az LVD termékek háza PFA, és az SMC LQ1 és a tisztatéri KP gyorscsatlakozóival szerelhetők. Az LVC modellek esetében további opciók választhatók, úgy mint: visszaszívó szelep (a szivárgás megakadályozására, normál nyomáson). Az SMC tesztlaboratóriumában kivételesen hosszú élettartam-teljesítményt mértek a termékeknél.
