Az elmúlt években általánosan elfogadottá vált, hogy az analóg úszókivitelű áramlásérzékelők nem tudják megfelelő pontossággal mérni a teljesítményt, amikor alacsony az átáramlás. Az SMC kutatómérnökeinek köszönhetően megszületett a PFM digitális áramlásérzékelő MEMS technológiával. Eredetileg a mikrochip-elemek vákuumos adszorbciójának érzékeléséhez tervezték mind szűrőkhöz, mind fúvókákhoz. A termék a mikroelektronikus mechnikai rendszernek (MEMS) köszönhetően hihetetlenül kompakt és könnyű, a többi áramlásérzékelőhöz viszonyítva. Egyedi, integrált, klippes áramlásbeállító szelepe segítségével könnyen csatlakoztatható vagy leválasztható, a lineáris áramlás kézzel állítható egy gomb elfordításával. Kétszínű kijelzővel rendelkezik, amely azonnal megmutatja a rendszer normálistól eltérő működését. Az MEMS érzékelőnek köszönhetően mind egyenes, mind könyök csatlakozási lehetőségek megfelelőek, ezzel jelentős helymegtakarítás érhető el ott, ahol ez számít. Jelenleg a PFM termékcsalád maximális átáramlási lehetőségei: 10, 25, 50 és 100 l/perc, használható levegővel, nitrogénnel, argonnal vagy széndioxiddal.
