Vent

Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices.

Le corps des séries XM (vanne angulaire pour le vide élevé) et XY (vanne en ligne pour les vides élevés) sont en SUS (acier inox). La structure de la série XM est la même que celle de la série XL, mais le corps de la série XL est en aluminium. La série XM est interchangeable avec la série XL. Le processus de fabrication monobloc par moulage de précision de la série XY évite les imperfections liées à l'accumulation de gaz et assure l'absence de porosité du corps.