Entlüftung

Hochvakuum-Winkelventile der Serie XL besitzen eine exzellente Wärmeleitfähigkeit und gewährleisten so gleichmäßige Temperatur am gesamten Ventilkörper und merkliche Reduzierung der Kondensation von Gasen im Ventil. Das Ventil enthält keine Schwermetalle wie Ni (Nickel) oder Cr (Chrom) und geringe Verdampfung reduziert die Verunreinigung von Halbleiterplättchen mit Schwermetallen.

Die Serie XM (Hochvakuum-Winkelventil) und XY (Hochvakuum-Rohrventil) verwendet als Gehäusematerial SUS (Edelstahl). XM und XL haben den gleichen Aufbau, aber das Gehäuse des XL ist aus Aluminium. Serie XM und Serie XL sind austauschbar. Das präzise Gießen in Einzelanfertigung bei Serie XY schließt Defekte wie Gaseinschlüsse aus und stellt sicher, dass das Gehäuse keine porösen Stellen aufweist.