Die Wasserstoffperoxid-Sterilisation ist ein Niedrigtemperatur-Sterilisationsverfahren. Es wird häufig zur Desinfektion von wärmeempfindlichen Geräten eingesetzt. Bei diesem Verfahren wird die Sterilisatorkammer mit H₂O₂-Dampf gefüllt, der mit den freiliegenden Oberflächen der Geräte in Kontakt kommt und diese entkeimt.