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XL

XL

Hochvakuum-Winkelventile der Serie XL besitzen eine exzellente Wärmeleitfähigkeit und gewährleisten so gleichmäßige Temperatur am gesamten Ventilkörper und merkliche Reduzierung der Kondensation von Gasen im Ventil. Das Ventil enthält keine Schwermetalle wie Ni (Nickel) oder Cr (Chrom) und geringe Verdampfung reduziert die Verunreinigung von Halbleiterplättchen mit Schwermetallen.

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XLJ, Vakuum-Eckventil mit Belüftungsventil

XLJ, Vakuum-Eckventil mit Belüftungsventil

  • Mit Entlüftungsventil zur Vermeidung von Öl-Rückfluss in die Vakuumkammer.
  • Gehäuse aus Aluminium.
  • Einfachwirkend (NC), O-Ring-Dichtung.
  • Minimale Ausgasung.
  • Minimale Kontaminierung durch Schwermetalle.
  • Hervorragende Korrosionsbeständigkeit gegen Flourgas.

XL*, Hochvakuum-Eckventile, druckluftbetätigt

XL*, Hochvakuum-Eckventile, druckluftbetätigt

  • Leicht und kompakt
  • Gleichförmige Formtemperatur
  • Hohe Fluorbeständigkeit
  • Geringe Ausgasung/LI>
  • Geringe Schwermetallkontaminierung

XL*V, Hochvakuum-Eckventile, druckluftbetätigt mit Magnetventil

XL*V, Hochvakuum-Eckventile, druckluftbetätigt mit Magnetventil

  • Leicht und kompakt
  • Gleichförmige Formtemperatur
  • Hohe Fluorbeständigkeit
  • Geringe Ausgasung/LI>
  • Geringe Schwermetallkontaminierung

XLH, manuelles Hochvakuum-Eckventil, Federbalg gedichtet

XLH, manuelles Hochvakuum-Eckventil, Federbalg gedichtet

  • Hochvakuum-Winkelventil
  • Typ: manuell, Faltenbalgdichtung
  • Flanschgröße: 16 ~ 50
  • Heizertyp: H1 (80°C), H2 (100°C), H3 (120°C)
  • Signalgeber nicht verfügbar

XLS, elektromagnetisches Hochvakuum-Eckventil, Federbalg gedichtet

XLS, elektromagnetisches Hochvakuum-Eckventil, Federbalg gedichtet

  • Partikelbildung verringert, da keine gleitenden Metallteile vorhanden sind
  • Druckausgleichsmechanismus ermöglicht uneingeschränkte Auslassrichtung
  • Kann in mobilen Geräten verwendet werden, da keine Antriebsluft erforderlich ist
  • Ein Steuerstromkreis zur Magnetventilversorgung ist Standardausstattung

XLAQ, Aluminium, einfaches Öffnen und Schließen Hochvakuum-Eckventil, drucklos geschlossen, Faltenbalgdichtung

XLAQ, Aluminium, einfaches Öffnen und Schließen Hochvakuum-Eckventil, drucklos geschlossen, Faltenbalgdichtung

  • Schnellverschluss zum Öffnen und Schließen der Ventileinheit.
  • Klein und leicht.
  • Hoher Durchfluss, geringe Abmessungen.
  • Know-how erforderlich, um unsachgemäße (De-) Montage zu vermeiden.

XLDQ, Aluminium, einfaches Öffnen und Schließen Hochvakuum-Eckventil, 2-stufige Kontrolle, einfachwirkend, Federbalg, O-Ring-Dichtung

XLDQ, Aluminium, einfaches Öffnen und Schließen Hochvakuum-Eckventil, 2-stufige Kontrolle, einfachwirkend, Federbalg, O-Ring-Dichtung

  • Schnellverschluss zum Öffnen und Schließen der Ventileinheit.
  • Klein und leicht.
  • Hoher Durchfluss, geringe Abmessungen.
  • Know-how erforderlich, um unsachgemäße (De-) Montage zu vermeiden.

XLA-2, Hochvakuum-Eckventil, Aluminium, Drucklos geschlossen/Faltenbalgdichtung

XLA-2, Hochvakuum-Eckventil, Aluminium, Drucklos geschlossen/Faltenbalgdichtung

  • Einfachwirkend, Faltenbalgdichtung.
  • Mit Magnetventil.
  • Gehäuse aus Aluminium.
  • Gleichmäßige Ausheiztemperatur.
  • Minimale Ausgasung.
  • Optional mit verbesserter Korrosionsbeständigkeit.
  • Leicht und kompakt.
  • Minimale Kontaminierung durch Schwermetalle.

XLC-2, Hochvakuum-Eckventil, doppeltwirkend, Faltenbalgdichtung

XLC-2, Hochvakuum-Eckventil, doppeltwirkend, Faltenbalgdichtung

  • Doppeltwirkend, Faltenbalgdichtung.
  • Gehäuse aus Aluminium.
  • Gleichmäßige Ausheiztemperatur.
  • Minimale Ausgasung.
  • Optional mit verbesserter Korrosionsbeständigkeit.
  • Leicht und kompakt.
  • Minimale Kontaminierung durch Schwermetalle.

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