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XLS, elektromagnetisches Hochvakuum-Eckventil, Federbalg gedichtet

  • Partikelbildung verringert, da keine gleitenden Metallteile vorhanden sind
  • Druckausgleichsmechanismus ermöglicht uneingeschränkte Auslassrichtung
  • Kann in mobilen Geräten verwendet werden, da keine Antriebsluft erforderlich ist
  • Ein Steuerstromkreis zur Magnetventilversorgung ist Standardausstattung

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