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Willkommen bei SMC

Hochvakuum-Lösungen

Innovative Hochvakuum-Komponenten für die moderne Fertigungstechnologie
 

In der heutigen Welt der modernen Fertigungstechnologien spielen Hochvakuum-Komponenten eine entscheidende Rolle. Zum Beispiel beim Fertigen von Mikrochips, Herstellen von Solarzellen, in der Werkzeugbeschichtung, für Analysegeräte wie Massenspektroskope und Elektronenmikroskope oder bei der Suche von Lecks und vielem mehr.

Hochvakuumanwendungen stellen hohe Anforderungen an Materialien und Konstruktionen. Daher arbeiten unsere Ingenieure weltweit an optimalen Lösungen, um Ihren Anforderungen gerecht zu werden.

Die Hochvakuum-Lösungen von SMC zeichnen sich durch hohe Leistungsfähigkeit aus und erfüllen gleichzeitig alle geforderten Bedingungen wie Leckagefreiheit, Reinheit, Korrosionsbeständigkeit, lange Lebensdauer und minimale Wartungsanforderungen.

Typische Anwendungsbereiche von Hochvakuum-Lösungen
 

Die Anwendungen von Hochvakuum-Lösungen sind entscheidend für verschiedene industrielle Prozesse. Wenn Sie beispielsweise mit Trockenätzanlagen, Sputter-Anlagen, Ionenimplantationsanlagen oder CVD- und PVD-Anlagen arbeiten, dann ist ein präzises Hochvakuum unerlässlich, um optimale Ergebnisse zu erzielen und Verunreinigungen zu vermeiden.

  • Trockenätzanlagen: Trockenätzanlagen werden in der Mikroelektronikindustrie eingesetzt, um dünnste Schichten von Materialien zu entfernen oder zu ätzen. Hochvakuum-Lösungen sind entscheidend, um den Prozess in einer kontrollierten Umgebung durchzuführen, die frei von Verunreinigungen ist.
  • Sputter-Anlagen: Sputter-Anlagen werden verwendet, um dünnste Schichten von Materialien auf Oberflächen abzuscheiden. Hierbei ist ein präzises Vakuum erforderlich, um eine gleichmäßige Beschichtung zu gewährleisten und Verunreinigungen zu vermeiden.
  • Ionenimplantationsanlagen: In Ionenimplantationsanlagen ermöglicht das Hochvakuum ein präzises Lenken der Ionenstrahlen und verhindert so unerwünschte Reaktionen.
  • CVD- und PVD-Anlagen: In chemischen Gasphasenabscheidungs- (CVD) und physikalischen Gasphasenabscheidungs- (PVD) Anlagen ist ein Hochvakuum entscheidend, um eine gleichmäßige und präzise Beschichtung zu gewährleisten.

Unsere engagierten und fachkundig geschulten Experten stehen Ihnen gerne zur Verfügung, um Sie entsprechend Ihrer individuellen Service- und Produktanforderungen zu beraten.

Warum SMC für Ihre Hochvakuum-Lösungen wählen?

SMC verfügt über langjährige Erfahrung und Fachkompetenz in der Bereitstellung von Hochvakuum-Lösungen. Unsere Kunden profitieren von erstklassigem Kundenservice und technischer Unterstützung, um sicherzustellen, dass ihre Anforderungen erfüllt werden.

Unsere Vorteile im Überblick:

  • Breites Sortiment an Hochvakuum-Komponenten: Von klassischen Eckventilen bis hin zu innovativen Belüftungsventilen bietet SMC eine Vielzahl von Hochvakuum-Ventilen und anderen Komponenten in verschiedenen Materialien und Ausführungen.
  • Kundenspezifische Entwicklungen: Mit unserer langjährigen Erfahrung und unserem Engagement für Innovation sind wir in der Lage, kontinuierlich neue Produkte sowie maßgeschneiderte Lösungen für Ihre spezifischen Hochvakuum-Anforderungen zu entwickeln.
  • Beispiele für innovative Hochvakumm-Produkte: Das zweistufige Belüftungsventil XVD2 eine turbulenzfreie Belüftung gewährleistet.
  • Beratung und Support: Wir bieten Ihnen umfassende Beratung und Unterstützung, um sicherzustellen, dass Sie das Beste aus unseren Hochvakuum-Komponenten herausholen. Von der Auswahl des richtigen Ventils bis hin zur Installation und Inbetriebnahme stehen wir Ihnen mit Rat und Tat zur Seite.

Weiterführende Informationen

Sehen Sie selbst, wie SMC Ihnen mit Hochvakuum-Komponenten helfen kann, Ihre Anlagen zu Höchstleistungen anzutreiben:

Entdecken Sie unsere Hochvakuum-Produkte

Entdecken Sie unsere Hochvakuumprodukte und erfüllen Sie nicht nur die Anforderungen Ihrer Industrie, sondern definieren Sie Ihre perfekte Lösung.

Anwendungsbeispiele für unsere Hochvakuum-Lösungen

Wie sich Hochvakuum-Lösungen von SMC erfolgreich an die Bedürfnisse unserer Kunden anpassen - nachstehend ein paar Anwendungsbeispiele:

Herstellung von Halbleiter-Bauelementen

Photolithographische und chemische Verarbeitung zur Herstellung integrierter elektronischer Schaltkreise

Herstellung von Halbleiter-Bauelementen

Photovoltaischer Herstellungsprozess

Produktion von kristallinen Siliziumzellen und Dünnfilmbeschichtung zur Herstellung von Solarzellen

Photovoltaischer Herstellungsprozess

Dichtheitsprüfung für die Automobilindustrie

Einspritzsysteme, Airbag-Zünder, Kraftstofftanks, Luftfederung und Klimaanlagen

Dichtheitsprüfung für die Automobilindustrie

Werkzeugbeschichtung

Werkzeug für Zerspannung, Umformung, Kunststoffspritzguss
 

Werkzeugbeschichtung