Die Serie SRF30 wurde zum Regulieren von Reinwasser und Stickstoffgas in Reinräumen entwickelt. Die Bereiche, die mit dem Medium in Kontakt kommen, sind in Fluorkunststoff ausgeführt. Die Bereiche, die mit dem Medium in Kontakt kommen, sind mit Freon-Ultraschall und deionisiertem Wasser gereinigt.