PFM

V průběhu posledních let se obecně přijal postoj, že analogové průtokoměry neposkytují vždy přesné údaje. Ale nyní, díky inženýrům z SMC, předních světových odborníků na automatizaci, vyšla nová řada PFM digitálních průtokoměrů. Vyvinut výhradně pro detekci mikročipů ve vakuu. Je neuvěřitelně kompaktní a lehký v porovnání se stávajicími senzory a to díky systému MEMS. Další vlastností je dvoubarevný displej, který indikuje všechny výkonnostní nesrovnalosti na první pohled. Různé možnosti montáže. V současné době je PFM k dispozici ve čtyřech maximálních průtocích a to 10, 25, 50 a 100 l/min. Je vhodný pro vzduch, dusík, argon nebo oxid uhličitý