Обезвъздушаване

Ъгловият разпределител за дълбок вакуум от серия XL осигурява отлична топлопроводимост при постоянна температура по цялото тяло на разпределителя и значително намалява кондензирането на газовете вътре в него. Разпределителят не съдържа тежки метали като Ni (никел) или Cr (хром) и слабото отделяне на частици минимизира замърсяването с тежки метали на полупроводниковите пластини.

Серия XM (ъглов клапан за висок вакуум) и XY (високо вакуумен редови клапан) са с материали на корпуса от SUS (неръждаема стомана). Структурата на XM е същата като на XL, с изключение на това, че материалът на корпуса на XL е алуминий. Серията XM е взаимозаменяема със серията XL. Прецизната отливка, е едно парче. Серията XY предотвратява несъвършенствата в следствие натрупване на газ и гарантира липса на шупли в тялото.